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簡要描述:蔡司XENOS 0.3μm三坐標測量機高精度三坐標測量機的長度測量誤差竟達到0.3微米
產(chǎn)品分類
詳細介紹
用于實現(xiàn)至高精度的測量機
ZEISS XENOS
ZEISS XENOS介紹
XENOS可在各類要求高測量精度的領(lǐng)域使用--從科研機構(gòu)的測量實驗室、航空和航天工業(yè)直至光學(xué)工業(yè)。這一測量機的測量精度達到技術(shù)極限,其測量范圍近1立方米。
虛擬中央驅(qū)動
XENOS于Y軸向配備雙線性驅(qū)動系統(tǒng),得益于蔡司的中央驅(qū)動技術(shù)可實現(xiàn)優(yōu)異的同步控制。該技術(shù)可據(jù)X軸位置分布驅(qū)動力。
作為控制系統(tǒng)及算法結(jié)合,這是在整個測量范圍內(nèi)獲得優(yōu)異的測量精度及運動穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素。
所有軸均采用線性驅(qū)動
XENOS的所有軸均采用線性驅(qū)動。其優(yōu)點:高速、加速極快、定位精度高、驅(qū)動無剪切力影響。結(jié)合超高分辨率光柵尺技術(shù),XENOS的線性驅(qū)動可獲得高度穩(wěn)定性及低于100納米的定位精度。
例如,測針偏移量越恒定,即可獲得更佳的測量精度。于測量曲面時更顯見另一優(yōu)勢:測針的移動路徑與預(yù)定值越吻合,即可實現(xiàn)越出色的精準性。
碳化硅陶瓷
XENOS在與精度密切相關(guān)的機器部件上采用創(chuàng)新的碳化硅陶瓷材料。迄今為止,該材料從未在類似產(chǎn)品或精度的測量機器上得到使用。
與常規(guī)陶瓷相比,碳化硅陶瓷的熱膨脹性降低約50%,而剛性則可提升30%,同時減重20%。與鋼材相比,碳化硅陶瓷重量降低50%而竟仍可獲得兩倍的剛性。
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