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簡(jiǎn)要描述:線性壓電納米位移臺(tái)MF40-25A,大行程直線位移臺(tái),不僅擁有緊湊的安裝尺寸,同時(shí)還兼具低溫真空等應(yīng)用環(huán)境,支持定制納米位移臺(tái)。
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產(chǎn)品描述
線性壓電納米位移臺(tái)MF40-25A,緊湊結(jié)構(gòu)支撐下的超大行程,軟件簡(jiǎn)單易用,亞納米級(jí)別開環(huán)分變率,真空兼容可達(dá)10-5Pa。支持定制納米位移臺(tái)。
不同于傳統(tǒng)的微米級(jí)別行程,納米位移臺(tái)擁有超大運(yùn)動(dòng)行程。大運(yùn)動(dòng)行程可以替代傳統(tǒng)的大范圍運(yùn)動(dòng)加不范圍補(bǔ)償?shù)倪\(yùn)動(dòng)方案,從而使設(shè)計(jì) 結(jié)構(gòu)更加緊湊,運(yùn)動(dòng)控制更加簡(jiǎn)單。
納米位移臺(tái)配套操作簡(jiǎn)單,隨時(shí)調(diào)整XY軸觀測(cè)位置,電子屏顯示,實(shí)時(shí)反饋數(shù)據(jù),數(shù)據(jù)定位準(zhǔn)確,且?guī)в懈呔燃案叻肿兟实奈恢梅答仭?/p>
△ 結(jié)構(gòu)緊湊,高剛性
△ 零間隙,高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)
△ 室溫到液氦工作溫度,超高真空兼容
△ 壓電陶瓷促進(jìn)器具有超長(zhǎng)使用壽命
△ 帶位移傳感器,提供位置和速度閉環(huán)控制
電子顯微鏡原位納米探針臺(tái),半導(dǎo)體芯片檢測(cè),光刻機(jī)工件臺(tái),微生物操縱手,光纖焊接,超精密組裝,精密檢測(cè)與測(cè)量。
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