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簡要描述:室溫半自動(dòng)探針臺 TZ-H-06室溫自動(dòng)探針臺,高可靠性探針臺系統(tǒng),主要應(yīng)用在半導(dǎo)體/微電子, 電子,機(jī)電,物理,化學(xué),材料,光電,納米,微機(jī)電/MEMs,生物芯片,航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域,以及IC設(shè)計(jì)/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。
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產(chǎn)品描述
室溫半自動(dòng)探針臺,高可靠性探針臺系統(tǒng),主要應(yīng)用在半導(dǎo)體/微電子, 電子,機(jī)電,物理,化學(xué),材料,光電,納米,微機(jī)電/MEMs,生物芯片,航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域,以及IC設(shè)計(jì)/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。
旨在預(yù)算與高測量可靠性之間尋求平衡點(diǎn),該平臺配備高精度位移臺,可實(shí)現(xiàn)X、Y、Z、 R等方向自動(dòng)調(diào)整,各移動(dòng)軸可實(shí)現(xiàn)±0.005mm以下的精度定位,對陣列型測量特征可實(shí)現(xiàn)快速準(zhǔn)確的測量。經(jīng)濟(jì)實(shí)用,穩(wěn)定性強(qiáng),可升級擴(kuò)展,操作方便是本產(chǎn)品的核心價(jià)值,在各大高校、研究所及半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用廣泛。
△ 標(biāo)配4個(gè)探針臂,可提供4-8個(gè)探針臂。調(diào)節(jié)范圍50mm*50mm*30mm,調(diào)節(jié)精度優(yōu)于5um。每個(gè)探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜;
△ 顯微鏡模塊:連續(xù)變倍單筒顯微鏡,光學(xué)放大倍率:0.5X~5.0X(使用1X附加物鏡時(shí)), 視頻放大倍率約700倍??蛇x2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數(shù)字?jǐn)z像頭,帶同軸照明和環(huán)形照明,帶機(jī)械調(diào)焦和光學(xué)調(diào)焦;
△ 樣品座采用電機(jī)驅(qū)動(dòng),可實(shí)現(xiàn)快速于目鏡下尋找樣品,調(diào)節(jié)范圍:100mm*100mm*15mm*±180°。
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